Natur und Technik > Mikrosystemtechnik (Verfahren)

• Silizium Bulkmikromechanik

  

  Mikrostruktur-Technologien

  

  Was ist BULK-Mikromechanik?

  

  Ätzprofile

  

  KOH-Ätzen

  

  Ursachen der anisotropen Ätzung bei Silizium

  

  Maskierung für das KOH-Ätzen

  

  Grundlagen der Silizium Mikrotechnik

  

  Zeitverlauf beim Ätzen

  

  BULK-Mikromechanik

  

  Strukturen bei vollständiger Unterätzung

  

  Beispiel: Einseitiger Balken in 100 Si

  

  Beispiel: Einseitiger Balken über V-Grube

  

  Beispiel: Zweiseitiger Balken über Ätzgrube

  

  Beispiel: Freistehende Insel in 100 Silizium

  

  Deep Reactive Ion Etching (DRIE-Etching)

  

  Trockengeätzte Silizium-Strukturen

  

  Trockengeätzte Silizium-Bauelemente

• Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik

  

  Beschleunigungssensor-System für Kfz-Anwendung

• Silizium-Oberflächenmikromechanik (OMM)

  

  Mikrostruktur-Technologien

  

  Bulk-Mikromechanik <-> Oberflächenmikromechanik

  

  Beispiele für Oberflächenmikromechanik

  

  Opferschichttechnologie

  

  Prozessfolge Opferschichttechnologie

  

  Prozessfolge Opferschichttechnologie

  

  Probleme der Oberflächenmikromechanik

  

  Sticking

  

  Maßnahmen gegen Sticking

  

  Bosch OMM Foundry: Vereinfachte Übersicht

  

  Funktionsprinzip: Beschleunigungssensor

  

  Anwendungsbeispiel: Beschleunigungssensor

  

  Beschleunigungssensoren in OMM

  

  Drehratensensor: Details aus dem Layout

  

  TV- und Videoprojektion

  

  Digital Mirror Device (DMD)

  

  Digital Mirror Device (DMD)

• Abformung

  

  Mikrostruktur-Technologien

  

  Heißprägen & Spritzgießen

  

  Spritzgießverfahren (Injection Moulding)

  

  Spritzgießmaschine vom Typ Microsystem 50

  

  Spritzgießverfahren: Initialisierungskosten

  

  Spritzgießverfahren (Injection Moulding)

  

  (Heiß-) Prägeverfahren

  

  (Heiß-) Prägeverfahren (Hot-Embossing)

  

  Heißprägemaschine (Eigenbau)

  

  Beispiel: Prägewerkzeuge aus Messing

  

  Beispiel: Abgeformte Linsenstrukturen

  

  Beispiel: Optische Komponenten aus PMMA und COC

  

  Beispiel: Tripelspiegel

  

  Klassische Beispiele von LIGA-Strukturen (1)

  

  LIGA-Spektrometer

  

  VIS Spectrometer

  

  VIS Spectrometer (Anwendungen)

  

  CE-Chip von "Greiner Bio One"

• Herstellung der Formeinsätze

  

  Herstellung der Formeinsätze

  

  Prozessabfolge beim LIGA-Verfahren

  

  Herstellung eines Formeinsatz in LIGA-Technik

  

  Prozessabfolge beim LIGA-Verfahren

  

  Röntgenlithographie (X-ray lithography)

  

  Erzeugung von Synchrotronstrahlung

  

  Bilder von Beschleunigern

  

  LIGA-Verfahren

  

  Diffusionsverhältnisse bei der Galvanik

  

  Metallic (Ni) Honeycomb Structure

  

  alternative Herstellung der Formeinsätze: Mikrofräsen (Micromilling)

  

  Mikrofräsen (Micromilling)

  

  Mikrofräsen (Micromilling)

  

  Mikrofräsen (Micromilling)

  

  alternative Herstellung der Formeinsätze: EDM

  

  Funkenerosives Feinstdrahtschneiden (EDM)

  

  EDM - Verfahren

  

  Charmilles Robofil 2020 SI Bearbeitungsbeispiele

  

  Beispiele EDM

  

  Beispiele WEDM

  

  Beispiele ECM

  

  Beispiel ECM